在羅茨真空機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽和要求高真空度的真空泵系統(tǒng)，如真空干燥在需要處理大量水蒸氣的真空系統(tǒng)中，更適合使用水環(huán)泵。但是由于真空度低，整個機(jī)組的真空度低，羅茨真空機(jī)組的原理如下。
　　保留了羅茨泵的優(yōu)點(diǎn)，可以快速工作，泵速更快。特別是能適應(yīng)抽出大量可凝性蒸汽，特別是氣動油封機(jī)械真空泵的可凝性蒸汽排出能力不夠，或者使用的溶劑會使泵油變質(zhì)影響其性能，或者真空系統(tǒng)不允許油污染。當(dāng)裝有防爆電機(jī)和電器時，根據(jù)相應(yīng)的規(guī)定，易燃易爆氣體也可以抽出。在食品工業(yè)中的冷凍干燥，紡織工業(yè)制藥工業(yè)中的應(yīng)用，高空模擬試驗(yàn)等。
　　在羅茨水環(huán)真空機(jī)組中，原理大致有以下幾種：
　　1.作用機(jī)組是羅茨泵所需的預(yù)備真空。一般來說，單級水環(huán)泵的真空度不高，而國產(chǎn)羅茨真空機(jī)組所需的預(yù)真空較高。所以，其實(shí)羅茨泵的前置泵一般不采用單級水環(huán)泵，而是采用壓力較低的兩級水環(huán)泵作為前置泵，也可以降低機(jī)組的壓力。
　　2.羅茨泵和水環(huán)泵的壓力為400 Pa，可以滿足一般的真空要求，但應(yīng)用范圍有限。如果兩個單元串聯(lián)，單元的壓力可以大大增加(高達(dá)25Pa)。所以在這種類型中，通常會看到兩個羅茨泵串聯(lián)，然后用一個兩級泵作為前級泵組成一個單元。如果需要更高的壓力，可以將三臺羅茨泵與水環(huán)泵組合使用，壓力可以達(dá)到1Pa。
　　3.用于高真空的羅茨真空機(jī)組不能直接排放到大氣中。例如，羅茨真空機(jī)組的進(jìn)氣口和出氣口之間的壓差太大，使羅茨真空泵過載。如果簡單地增加真空泵電機(jī)的功率，真空泵就會過熱，這樣羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的小間隙就會因熱膨脹而迅速堵塞。
　　4.為了保證羅茨真空泵能達(dá)到高真空，一定要保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。
　　因此，總的來說，羅茨真空機(jī)組選擇水環(huán)泵作為前級泵比其他真空泵更有優(yōu)勢，主要是因?yàn)樗梢匀コ罅康目赡羝貏e是當(dāng)帶有氣動油封的機(jī)械真空泵去除可凝蒸汽的能力不足時，或者使用的溶劑會使泵油變質(zhì)，影響其性能。